Совмещение и экспонирование

 

               
 
 
 

                                  Межоперационные сроки хранения 

  

                                 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

                              Требования к параметрам микроклимата 

Основными  источником загрязнения вакуумной среды  в производственных помещениях являются персонал, работающее оборудование и  технологические процессы. Главным  же источником загрязнения рабочих  комнат является персонал (частицы  дыхательных путей, с кожи человека, одежды уличной и рабочей). Установлено, что один рабочий на уличной и  рабочей одежде и на поверхности кожи приносит в производственную среду приблизительно 2 млрд. загрязненных частиц.

   Из всех  пылинок находящихся в воздухе  во взвешенном состоянии, пылинки  размером 0,5 мкм составляют свыше  96%.

  

           Требуемая чистота:

1. Класс чистоты: 10

2. Допустимое  количество частиц размером 0,5 мкм  и более на 1 л воздуха или  газа: 0,35

3. Допустимая  концентрация пыли в воздухе  зависит от размеров обрабатываемых  участков и вида технологических  операций. Например, монолитные ИМС, состоящие из меньших размеров, чем гибридные, требуют более высокой чистоты.

   Наиболее  чувствительными к чистоте являются  такие операции и техпроцессы,  как очистка полупроводниковых  пластин и диэлектрических подложек, диффузия, напыление, изготовление фотошаблонов, фотолитография и др. Их рекомендуется проводить в отдельных помещениях первого класса. 

    Требуемая температура воздуха

- Точность поддержания ºС: ±1

- Номинальные  значения tº воздушной среды в рабочей зоне производственных помещений,ºС для периодов года: холодного 21±1, теплого 23±1

.

  Требуемая влажность воздуха

- помещение:  производственное

- допустимые  значения относительной влажности  %: 50±5; 50±10 

   Специальные  требования, предъявляемые технологическим процессом:

1. Фотолитография

          Класс чистоты:

- В рабочем  пространстве: 1000

- В общем объеме  помещений: 100000

- Точность поддержания  температуры tº: ±0,5

- Относительная  влажность %: 50±5

- Характеристика  техпроцесса и обоснование выделения  в отдельное помещение: повышенные  требования по температуре, влажности  и чистоте.

   Расчетная подвижность воздуха на постоянных рабочих местах должна соответственно 0,2 - 0,5 м/с – в теплый период года; 0,2 и- 0,3 м/с -  в переходный и холодный периоды года. 

                         

                Требования охраны труда на участке фотолитографии 

      Амплитуда вибрации прецизионного  оборудования на участках фотолитографии  и изготовления фотошаблонов  не должна превышать 5 мкм при  5 Гц и 0,5 мкм при 20 Гц. Поэтому  и прецизионное оборудование  на этих участках должно устанавливаться на виброгасящие фундаменты или должны быть предусмотрены другие мероприятия по защите от вибраций.

   Для того  чтобы уровень шума не превышал  значений, должны быть осуществлены  следующие мероприятия: 

-форвакуумные  насосы, создающие вибрацию и  шум, нобходимо выделять в отдельные помещения. 

- щиты управления  для обслуживающего персонала  необходимо устанавливать в кабинах, огражденных звукоизолирующими перегородками. 

- использование  мягких вставок между вентиляторами,  воздуховодами и между центробежными  насосами и трубопроводами.   

- устройство  шумоглушителей.

                                         
 

          
 
 
 
 
 
 
 
 
 

                   Общие требования безопасности 

1.К выполнению  работ допускаются лица не  моложе 18 лет, прошедшие:

    - медосмотр и не имеющие противопоказаний  по состоянию здоровья 

    - вводный инструктаж и инструктаж  на рабочем месте по безопасности  труда и пожарной безопасности  с записью в журнал регистраций инструктажа на рабочем месте

    - проверку знаний с присвоением  1 квалификационной группы по  электробезопасности и имеющие  удостоверение на право работы  с токсичными веществами

    - профессиональное обучение

2. Выполнять  работу, входящую в обязанности   порученную непосредственным руководителем,  при условии, что Вам известны  способы ее безопасного исполнения

3. При  выполнении работ необходимо  знать:

    - меры защиты от вредных производственных  факторов, правила пользования защитными  средствами, приемы оказания первой  медицинской помощи при отравлениях,  ожогах и других несчастных  случаев

   - места расположения средств  пожаротушения, уметь ими пользоваться

   - не допускать курения, употребления  алкогольных, наркотических и  токсических веществ на рабочем  месте

4. В  процессе работы существуют следующие  опасные и вредные производственные  факторы:

   - электроопасность

   - отравление токсическими веществами

   - химические ожоги кожных покровов  и слизистых оболочек

   - термические ожоги

   - ожоги ультрафиолетовым излучением

   - пожароопасность

5. При  работе полагается спецодежда  и другие средства зашиты:

    - халат из кислотостойкой ткани  

    - перчатки резиновые 

    - очки защитные

    - напальчники

6. Не  работать на неисправном оборудовании  неисправными приспособлениями  и инструментами

7. Не  начинать работу с новыми химическими веществами не получив инструктаж о мерах безопасной работы с ними.

8. Хранить  химические вещества в таре  с плотными крышками жидкие  реактивы и растворы во флаконах  с плотно закрывающимися пробками  с указанием наименования вещества  и срока приготовления.

9. Не  загружайте рабочее место и  проходы к оборудованию.

10. Соблюдайте  правила личной гигиены: не  храните и не принимайте пищевых  продуктов на рабочем месте,  используйте для этих целей  специально оборудованные помещения,  не пользуйтесь химической посудой  в бытовых целях, перед приемом  пищи мойте руки водой с  мылом.

11. Заметив  нарушение требований безопасного  производства, сообщите об этом руководителю работ.

12. В  случае возникновения травмы  необходимо оказать пострадавшему первую (доврачебную) помощь и сообщить руководителю работ.

13. При  невыполнении инструкции, лица виновные  в нарушении требований охраны  труда несут ответственность  с действующим законодательством.

14. Ответственность  за создание безопасных условий  труда и выполнения технологических  операций несут начальник соответствующего  подразделения и непосредственный  исполнитель.

                    
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

                     Экологические требования.

Атмосфера.

При проведении данной операции возможно выделение  в атмосферу этилового спирта, в количествах, не превышающих предельно-допустимые концентрации. Спирт этиловый - класс  опасности.

Гидросфера.

На данной операции загрязнение гидросферы не происходит.

Отходы.

На данной операции образуются твердые отходы в виде обтирочной ткани, фильтров, напальчников и перчаток. Данные отходы являются малотоксичными и согласно санитарным правилам подлежат сбору в урну с  последующим вывозом на промышленную площадку. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

Комитет по образованию Мингорисполкома

Учреждение  образования

«Минский  государственный профессионально  – технический колледж электроники» 
 

Учебная специальность:

«Технология производства изделий  электронной и  микроэлектронной техники»