Совмещение и экспонирование

1.Надеть  исправную спецодежду: халат из  химустойкой ткани.

2.Проверить  наличие индивидуальных средств  защиты: напальчники, очки защитные, резиновые перчатки.

3. Смазать  руки защитным кремом перед  работой.

4. Привести  в порядок рабочее место: убрать  лишние, мешающие работе предметы, инструмент, химическую посуду и  технологическую тару разместить  в удобном для работы порядке.

5. До  включения оборудования совмещения  и экспонирования путем внешнего  осмотра убедиться в его исправности  и безопасности, а именно:

- в  наличии, целостности и прочности  подсоединения заземляющего полупроводника 

- в  отсутствии повреждения изоляции  электрических проводников и  соединительной арматуры (вилок,  розеток, разъемов и др.) 

- в  наличии исправности защитных  приспособлений и ограждений 

6. Включить  вентиляцию, камеры обеспылевания и микроклимата, убедиться в их работе.

7. При  работе с установкой экспонирования  проверить наличие и действие  водяного или воздушного охлаждения  источника излучения.

8. Включить  оборудование согласно требованиям  технологического процесса и  инструкциям по его эксплуатации.

9. В  случае взрыва ртутных ламп  на операции экспонирования или  поломки термометров тщательно  собрать ртуть в стеклянную  или полиэтиленовую емкость и  залить раствором хлорного железа  для нейтрализации (200-250г на  литр воды).

10. Не  пользоваться стеклянной тарой;  неисправными кассетами и тарой.

11. При  работе с электроприборами руки  должны быть сухими.

12. При  работе на установке совмещения  и экспонирования следить за  охлаждением источника излучения,  не открывать защитный кожух  источника излучения. 
 

                          
 
 

                                    Подготовка оборудования 

1. Зафиксировать  плиту шаблонодержателя вакуумом поворотом ручки крана ШД.

2. Поместить  пластину рабочей стороной вверх  на столик, зафиксировать вакуумом  поворотом ручки крана ПЛ и обдуть азотом.

3. Нанести каплю  декана в центр пластины.

4. Взять шаблон  за торцы, обдуть азотом, установить  рабочей  стороной вниз на  плиту шаблонодержателя и зафиксировать вакуумом поворотом ручки крана Ш.

5. Включить кнопку  РЕЖИМ РАБОЧИЙ.

6. Нажать клавишу  ЦИКЛ, при этом столик поднимается  в позицию выравнивания и затем  опускается до зазора совмещения.

7. Повернуть  микроскоп в рабочую зону и  опустить его нажатием клавиши  микроскоп.

8. Совместить  с помощью манипулятора рисунок  фотошаблона с рисунком пластины

9. Нажать кнопку  ЭКСПОНИРОВАНИЕ в КОНТАКТЕ.

10. Нажать клавишу  КОНТАКТ, при этом должна загореться  индикация клавиши.

11. Проверить  качество совмещения. При неудовлетворительном  совмещении произвести повторное  совмещение, для чего предварительно  нажать клавишу ЗАЗОР, при этом  загорается индикация клавиши  ЗАЗОР, клавиша КОНТАКТ гаснет

12. Поднять микроскоп  нажатием клавиши МИКРОСКОП.

13. Установить  блок экспонирования в положение  экспонирования поворотом по  вертикальной оси.

14. Нажать клавишу  ЭКСПОНИРОВАНИЕ, при этом устанавливается  зазор, и провести экспонирование.

15. Установить  блок экспонирования и контроля  совмещения в промежуточную позицию  поворотом по вертикальной оси.

16.Расфиксировать  фотошаблон поворотом ручки крана  I и снять с плиты шаблонодержателя.

17. Расфиксировать проэкспонированную пластину поворотом ручки крана ПЛ и снять со столика.

18. По окончании  работы нажать кнопку СЕТЬ  ВЫКЛ на БП.

19. Перевести  тумблер СЕТЬ на передней панели  блока питания лампы ДРКс-500 в  положение ВЫКЛ.

20. Закрыть краны  на блоке подготовки воздуха,  воды и вакуума. 

                 

                              

                      Порядок работы с установкой 

1. Обслуживание  установки осуществляется оператором 3  или 4 разряда.

Включение установки:

- подключить установку к питающей сети с помощью сетевого кабеля. 

- поставить тумблер СЕТЬ на передней панели блока питания лампы ДРКс-500 в положение Вкл. При этом должна загореться лампочка СЕТЬ. 

- тумблер Р, Вт поставить в положение контроль. Ось потенциометра РЕГ. ТОКА повернуть в крайнее правое положение и нажать кнопку БП ВКЛ, при этом загорается светодиод БП ВКЛ. 

- нажать кнопку ПОДЖИГ на передней панели блока питания лампы ДРКс-500 и удерживать в нажатом положении (не более 5 секунд) до загорания лампы ДРКс-500, о чем свидетельствует  появление свечения под верхней крышкой фонаря м загорания светодиодов 

2. Тумблер Р, Вт поставить в положение Р, Вт и в течение 10-15 минут следить за выходной мощностью по цифровому индикатору на передней панели блока питания лампы. Вращая ось потенциометра РЕГ. ТОКА против хода часовой стрелки, не допускать превышения  мощности более 500 Вт, а после загорания лампы через 10-15 минут выставить номинальную выходную мощность на лампе ДРКс-500, равную 500 Вт.

 

3. Нажать кнопку СЕТЬ ВКЛ на блоке питания, при этом должна загореться лампа СЕТЬ.

                   

                                      

4. Выполнить операции совмещения.    Проверить качество совмещения. При неудовлетворительном совмещении, произвести повторное совмещение, для чего предварительно нажать кнопку зазор.

   Примечание: В процессе работы  можно изменить ранее установленный  зазор для совмещения с помощью  регулятора зазора совмещения. 

                         .

5. Нажать клавишу микроскоп: при этом микроскоп поднимается в верхнее положение.
6. Установить блок экспонирования и контроля совмещения в положение экспонирования, поворотом вокруг вертикальной оси.

                 

7. Нажать клавишу ЭКСПОНИРОВАНИЕ и произвести экспонирование пластины.
8. Выключение установки:

- нажать кнопку СЕТЬ ВЫКЛ. на блоке питания. 

      - установить тумблер СЕТЬ на передней панели  блока питания лампы ДРКс-500 в    положение ВЫКЛ. 

     - отсоединить от сети вилку кабеля питания установки. 
 

Режимы  работы 

Установка ЭМ-5026 работает в двух режимах «Рабочий»  и «Наладочный». Выбор режима работы проводится нажатием соответствующей  кнопки на пульте управления.

     В исходном состоянии рабочий  столик опущен вниз, блок экспонирования  находится в промежуточном положении,  микроскоп вверху, механизм вертикальных  перемещений расфиксирован, затвор закрыт.

     Перед началом рабочего режима  полупроводниковая пластина укладывается  вручную на столик и фиксируется  вакуумом с помощью ручки «ПЛ»  блока кранов. Калибрующая пластина, вставленная в рамку, устанавливается  на плиту шаблонодержателя, фиксируя вакуумом с помощью ручки «Ш» блока кранов.

    Далее управление установкой  в рабочем режиме осуществляется  следующим образом:

- при  нажатии клавиши Цикл на пульте  управления происходит подъем  рабочего столика до контакта  с калибрующей пластиной

- операция  выравнивания происходит под  действием пружины привода МВП

- далее  происходит опускание рабочего  столика (2-й этап) до зазора  совмещения, величина которого устанавливается  потенциометром  на блоке совмещения, и загорается индикация клавиши  ЗАЗОР.

- на  этом этапе вместо калибрующей  пластины вводится фотошаблон, поворачивается  в рабочую зону блок экспонирования, и микроскоп при нажатии соответствующей  клавиши на пульте управления  опускается для совмещения полупроводниковой  пластины с фотошаблоном.

    По окончании операции совмещения  цикл продолжается нажатием клавиши  КОНТАКТ. При этом должна погаснуть  индикация клавиши ЗАЗОР и  загореться индикация клавиши  КОНТАКТ.

   Если на пульте управления  выбран режим экспонирования  в контакте, то при нажатии  клавиши КОНТАКТ  пластина  и шаблон приводятся в контакт,  пространство под шаблоном герметизируется  и соединяется с вакуумом, при  этом центральная часть пластины  расфиксируется на рабочем столике. Таким образом, достигается плотный контакт между пластиной и шаблоном.

     Если на пульте управления  выбран режим Экспонирование  на Зазоре, то рычаг такого  привода МВП переходит в положение,  определяющее зазор экспонирования, величина которого (в микронах) задается  потенциометром ЗАЗОР ЭКСПОНИРОВАНИЯ.

  При неудовлетворительном совмещении  пластины с шаблоном, нажатием  клавиши ЗАЗОР можно вернуться  из контакта на зазор совмещения. При этом индикация клавиши  ЗАЗОР загорается, КОНТАКТ гаснет.

   При удовлетворительном совмещении  в контакте цикл продолжается  нажатием клавиши ЭКСПОНИРОВАНИЕ. При этом микроскоп поднимается  вверх и уводится из рабочей  зоны, блок экспонирования фиксируется  в положении экспонирования, открывается  затвор и загорается индикация  клавиши ЭКСПОНИРОВАНИЕ. После отработки  заданной программным переключателем ЭКСПОЗИЦИЯ необходимой величины экспозиции затвор закрывается, индикация клавиши гаснет.

   При нажатии клавиши СБРОС  происходит пластины на рабочем  столике, возврат всех механизмов  в исходное положение. В течение  этого времени горит индикация  клавиши СБРОС. 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

        Виды брака возникающие после операции совмещение и экспонирование.