Автор работы: Пользователь скрыл имя, 22 Октября 2012 в 14:57, курсовая работа
Цель и задачи курсовой работы. Более глубоко изучить теоретические основы технологии совмещения и экспонирования фотолитографии при изготовлении ЛИС с изоляцией «Изопланар II». Сравнить метод с аналогичными, проанализировать их достоинства и недостатки. Изучить применяемое в процессе оборудование, его схемы, документацию. Описать процесс в виде технологической карты. Изучить виды и причины брака на данной технологической операции. Применить знания по экономике к изучаемому технологическому процессу.