Технологический процесс изготовления КМОП ИС
Курсовая работа, 04 Июня 2012, автор: пользователь скрыл имя
Описание
Интегральная схема была изобретена Килби в 1958 году. Первые ИС представляли собой генераторы с фазосдвигающими цепями и триггеры, которые формировались на подложках из германия. Индивидуальные компоненты этих схем были изолированы меза-областями, вытравливаемыми в подложке с использованием наносимого вручную черного воска для защиты активных областей. Отдельные компоненты соединялись проволочными проводниками.
Содержание
Задание 2
Замечания руководителя 3
Введение 5
1 Теоретическая часть 7
2 Используемое оборудование и описание установки 11
3 Расчетная часть 14
Заключение 17
Список литературы 19