Автор работы: Пользователь скрыл имя, 13 Апреля 2013 в 18:18, курсовая работа
Показатели технического уровня создаваемой научно-технической продукции в соответствии с ГОСТ Р 15.011-96 (форма Д.1.1). Используемые технологические процессы должны обеспечить изготовление РМП с заданными характеристиками: - рабочая частота: до 6ГГц - рабочий диапазон температур: минус 120…+170оС - материал исполнительного элемента: кремний/никель/золото/алюминий - материал резисторов: нихром / вольфрам / нитинол / поликремний - материал диэлектрика конденсатора: нитрид кремния - напряжение питания системы преобразователя 24В; ток питания 100 мкА.
Техническое задание 3
Введение 6
1 Анализ принципа действия, конструкции и методов изготовления радиочастотного микропереключателя 7
1.1 Анализ принципов действия радиочастотных микропереключателей 7
1.1.1 Электростатические механизмы управления 8
1.1.2 Магнитостатические механизмы управления 8
1.1.3 Пьезоэлектрические механизмы управления 8
1.1.4 Электротермический механизм управления 8
1.2 Параметры переключения 8
1.3 Анализ конструкции радиочастотного микропереключателя 9
1.4 Технологии производства МЭМС 10
1.4.1 Кремниевая объёмная микрообработка 10
1.4.2 Способы остановки процесса травления 12
1.4.3 Кремниевая поверхностная микрообработка 13
1.4.4 LIGA, SIGA и MUMP’s технологии 15
2 Расчет типового радиочастотного микропереключателя 17
2.1 Расчет исполнительного элемента 17
3 Анализ физико-механических характеристик радиочастотного микропереключателя в программном комплексе SolidWorks 19
4 Заключение 22
Список литературы 23